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射频电源采购市场空间仍颇为客观。
作者 | 阿牛
出品 I 芯潮 IC
ID I xinchaoIC
图片 I 创客贴
SEMICON China 2025，射频电源企业也是一大看点。
射频电源泛指13.56MHz的电源，半导体设备的射频电源工作频率在2MHz到60Mhz之间，它是流片环节的重要设备，被誉为“卡脖子”的关键零部件，它的应用直接关系到腔体中的等离子体浓度、均匀度和稳定度，影响到终端晶圆刻蚀、成膜的质量。
这块蛋糕长期以来被海外厂商把持，诸如美国AE、MKS，以及为国人所知的通快霍廷格基本占据行业头部位置。而国产电源厂家如恒运昌、神州半导体、英杰电气、瀚强科技和广能达半导体，也都加紧打造自主品牌，争抢前装市场供货。
在本次展会上，通快霍廷格、英杰电气等纷纷高调参展，其中，通快霍廷格更是携针对半导体领域研发的等离子体电源产品、解决方案和TGV面板技术重磅亮相。
通快霍廷格能为半导体晶圆制造提供哪些创新产品？霍廷格有哪些最新产品矩阵与TGV实物展示？国内射频电源市场格局如何？
芯潮IC独家专访，领跑SEMICON系列全新出发，走近射频电源赛道。
等离子体电源解决方案亮相
霍廷格汇聚产业焦点
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射频电源室等离子体电源的一种。等离子体电源是用于产生和维持等离子体状态的电源设备，它通过电场或磁场的作用将气体电离，从而产生等离子体。
根据电源的类型和工作频率，等离子体电源可以分为直流电源、射频电源等。直流电源主要是通过直流电压产生稳定的电场，适用于需要稳定等离子体的应用，如等离子体喷涂和等离子体刻蚀；而射频电源主要利用高频电磁场激发气体产生等离子体，广泛应用于半导体制造中的化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）。
对于半导体晶圆制造而言，芯片本身的价值高昂，如果出现事故损失将远高于电源本身价值，因此客户的电源选型要求十分苛刻，且一旦选定一款产品不会轻易更换，整体来看这一块市场单客户订单价值量较大，有验证产品的企业能获得不错的利润空间。
通快霍廷格电子有限公司（以下简称：通快霍廷格）成立于1922年，总部设于德国弗莱堡，致力于开发、制造用于各种沉积和刻蚀工艺的等离子电源，是一家拥有百年发展历史的专业等离子体电源制造商。
图左为TGV面板技术
图右为TruPlasma LF & TruPlasma Bipolar
在半导体制造中，通快霍廷格电子的等离子射频和直流电源，在等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、物理气相沉积（PVD）、刻蚀以及离子注入等关键工艺中发挥重要作用，为晶圆制造的精度、质量和生产效率提供有效保障。
本次展会上，通快霍廷格重点展示了在半导体制造领域的创新成果，包括在沉积和刻蚀领域中具有核心优势的RF、Match Series以及VHF系列电源产品。同时，通快霍廷格电子也将联合通快激光技术部门也将展示其最新的TGV（玻璃通孔）面板技术。从晶体生长到封装环节，全方位展现在半导体制造领域的技术能力。
赛道前景可观
盘点国内射频电源TOP 5
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随着国内晶圆厂不断新增扩产，半导体资本开支不断上行，射频电源采购市场空间仍颇为可观。
作为半导体工艺控制的核心，射频电源占设备总成本比重可达15%左右，据相关机构研报，射频电源在晶圆厂外采零部件中占比10%，属于采购大宗。预计2025年全球半导体射频电源市场空间可以达到270亿元，国内市场空间不低于70亿元。
除通快霍廷格外，射频电源市场上还活跃着多家国产企业，在当前国际形势大背景下，如恒运昌、神州半导体、英杰电气、北方微电子和广能达半导体等中国企业，正加紧打造自主品牌，争抢前装市场供货份额。
芯潮IC依据市场公开信息整理制作，以上排名不分先后
以上企业中，恒运昌最早完成自主研发产品，且资本积累稳步推进，累计完成3轮融资，背后资方包括国投创业、拓荆科技、电科投资、瑞芯投资、君海创芯、小象创投，可以看出其中不乏多家知名产业资本的加入，恒运昌目前已开启上市辅导。
神州半导体公司拥有一部分维修业务，并不断拓展。鉴于海外大厂在中国的维保能力有限，国产厂商在后装市场发力，做产品维修、更换，也有着可观的市场及利润空间。
英杰电气（300820.SZ）专注于功率控制电源，已具备半导体设备（刻蚀机、PECVD等）部分机台射频电源的国产替代以及量产的能力，其余机台的射频电源研发也在有序推进。根据最新消息，英杰电气与中微公司等国内头部半导体企业建立了多年合作关系，在部分型号上形成了批量订单，目前公司半导体行业的客户数量处于增长状态。
除以上几家代表性企业外，仍有力源海纳、瀚强科技、天马电源等发力射频电源赛道，国产品牌凝心聚力，有望逐渐撬动相关市场空间，在国际市场上发出属于中国品牌的声音。
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原文标题 : 通快霍廷格领跑，盘点射频电源领域实力TOP 5
